小型超纯水设备的应用使反渗透超纯水设备
从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术，则是超纯水制造技术的一
次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ•CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。国家经委也已将RO + EDI
成套技术的应用列入国家重点推广范围，对使用的企业给以政策上的优惠.
小型超纯水设备典型工艺流程为：
1: 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点
2: 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
3: 预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
小型超纯水设备设计原则：
品质---依照客户生产所需超纯水的水质要求及生产特点，并考虑水源的水质(需客户提供水质分析报告或源水样品)。
可扩充性—系统分段设计规划，考虑就近用水和生产安全需要，可依照生产线需求随时扩充产能，客户可分阶段投资。
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