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中华人民共和国国家标准
中国国家电子级超纯水规格 GB/T 11446.1-1997 |
附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
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电阻率
25℃
MΩ*cm |
硅
≤μg/L |
铜
≤μg/L |
锌
≤μg/L |
镍
≤μg/L |
钠
≤μg/L |
钾
≤μg/L |
氯
≤μg/L |
>1μm颗粒
≤个/ml |
细菌
≤个/ml |
硝酸根
≤g/L |
磷酸根
≤μg/L |
硫酸根
≤μg/L |
TOC
≤μg/L |
EW-I |
≥18* |
2 |
0.2 |
0.2 |
0.1 |
0.5 |
0.5 |
1 |
0.1 |
0.01 |
1 |
1 |
1 |
20 |
EW-II |
≥15 ** |
10 |
0 |
0 |
1 |
2 |
2 |
1 |
5 |
0.1 |
1 |
1 |
1 |
100 |
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
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中国国家电子级超纯水 GB/TII446.1－1997标准
指标\级别 |
EW－Ⅰ |
EW－Ⅱ |
EW－Ⅲ |
EW-Ⅳ |
电阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％时间）不低于17 |
15，（95％时间）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
全硅，最大值 ,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
＞ 1μm微粒数，最大值，个/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
细菌个数，最大值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
铜，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
锌，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
镍，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
钠，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
钾，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
总有机酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
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